多(duo)晶硅還原(yuan)爐(lu)的倒棒(bang)現象進行總結分析,造(zao)成(cheng)還原(yuan)爐(lu)倒棒(bang)的主要(yao)原(yuan)因有(you)如(ru)下幾個方面。
一、還(huan)原(yuan)(yuan)爐(lu)系統(tong)(tong)設備自(zi)身(shen)問題：在多晶硅(gui)(gui)棒生長(chang)過程中(zhong),從還(huan)原(yuan)(yuan)爐(lu)自(zi)身(shen)看,對硅(gui)(gui)棒的(de)(de)(de)傾(qing)倒(dao)起到一定(ding)作用的(de)(de)(de)主(zhu)要(yao)包括進料氣體分布裝置和硅(gui)(gui)芯質量(liang)以及還(huan)原(yuan)(yuan)爐(lu)系統(tong)(tong)的(de)(de)(de)測控裝置,此外,爐(lu)內(nei)使用的(de)(de)(de)硅(gui)(gui)芯的(de)(de)(de)質量(liang)也很重要(yao)。
1.還(huan)原(yuan)爐(lu)(lu)進(jin)料氣(qi)(qi)體分(fen)(fen)布(bu)裝置(zhi)：爐(lu)(lu)內(nei)氣(qi)(qi)體分(fen)(fen)布(bu)不均(jun)是導致還(huan)原(yuan)爐(lu)(lu)倒棒的大(da)隱患。造成還(huan)原(yuan)爐(lu)(lu)內(nei)氣(qi)(qi)體分(fen)(fen)布(bu)不均(jun)的一個(ge)主(zhu)要原(yuan)因是還(huan)原(yuan)爐(lu)(lu)的進(jin)、出氣(qi)(qi)分(fen)(fen)布(bu)裝置(zhi)所(suo)固有(you)的設計(ji)缺陷。
2. 硅芯(xin)長度及質量：硅芯(xin)的(de)問題在很(hen)大程(cheng)度上也可能(neng)導(dao)致還原爐的(de)倒棒現象發生。爐內安裝的(de)硅芯(xin)越長,硅芯(xin)的(de)重心(xin)越高,在生產(chan)過程(cheng)中(zhong)倒棒率越高。
3.在(zai)還(huan)原(yuan)爐(lu)(lu)(lu)正常生(sheng)產過(guo)程中,若硅(gui)芯溫度過(guo)高,則會(hui)使硅(gui)芯迅速熔(rong)斷(duan),進而發生(sheng)傾斜,直至(zhi)倒(dao)棒。還(huan)原(yuan)爐(lu)(lu)(lu)系統測控(kong)裝置還(huan)原(yuan)爐(lu)(lu)(lu)測裝置主(zhu)要是(shi)指(zhi)還(huan)原(yuan)爐(lu)(lu)(lu)系統的(de)溫度、壓力(li)及(ji)流量(liang)的(de)測量(liang)和控(kong)制,其(qi)中最(zui)主(zhu)要的(de)是(shi)還(huan)原(yuan)爐(lu)(lu)(lu)的(de)溫度測量(liang)控(kong)制系統。再者還(huan)原(yuan)爐(lu)(lu)(lu)的(de)壓力(li)和進料(liao)控(kong)制系統若不(bu)靈敏,則會(hui)使還(huan)原(yuan)爐(lu)(lu)(lu)內(nei)壓力(li)波動(dong)(dong)頻繁,也可(ke)能導(dao)(dao)致(zhi)還(huan)原(yuan)爐(lu)(lu)(lu)硅(gui)芯左右頻繁晃動(dong)(dong),波動(dong)(dong)劇烈時即可(ke)能導(dao)(dao)致(zhi)硅(gui)棒的(de)傾斜和倒(dao)棒。
二(er)、 硅棒安裝過程中(zhong)存在的問(wen)題：
硅(gui)(gui)(gui)棒的(de)(de)(de)安裝(zhuang)(zhuang)是否(fou)橫平豎直也是導致硅(gui)(gui)(gui)棒發(fa)生(sheng)(sheng)倒(dao)棒的(de)(de)(de)一個重要原(yuan)因(yin),如果有較(jiao)小(xiao)的(de)(de)(de)偏移(yi)就可能在(zai)(zai)(zai)加(jia)壓的(de)(de)(de)過程(cheng)中產生(sheng)(sheng)較(jiao)大(da)的(de)(de)(de)偏移(yi),隨著硅(gui)(gui)(gui)棒的(de)(de)(de)增(zeng)長而傾斜(xie)甚至直接倒(dao)棒。導致硅(gui)(gui)(gui)芯安裝(zhuang)(zhuang)不橫平豎直也有以(yi)下幾個方面的(de)(de)(de)原(yuan)因(yin)。在(zai)(zai)(zai)硅(gui)(gui)(gui)芯的(de)(de)(de)安裝(zhuang)(zhuang)過程(cheng)中,也會在(zai)(zai)(zai)后續生(sheng)(sheng)產過程(cheng)中導致硅(gui)(gui)(gui)芯的(de)(de)(de)熔斷和倒(dao)棒的(de)(de)(de)發(fa)生(sheng)(sheng)。
三、硅棒(bang)生長控制(zhi)操作中的(de)問題：
1. 溫度的(de)控制：溫度對于多晶硅沉積質量(liang)的(de)影(ying)響(xiang)是至關重要的(de),必(bi)須控制得當。
2.爐內壓(ya)力(li)波動控制：還原爐內壓(ya)力(li)波動是指(zhi)進、出料的壓(ya)力(li)波動。由于還原爐的操作(zuo)本(ben)身屬于非穩態操作(zuo)過(guo)程(cheng),其(qi)進、出料均隨著硅芯棒(bang)的增長而單(dan)調增加,因(yin)此還原爐的進料波動在所難免,但必須得(de)當。
